کارتریج فیلتر تیتانیوم متخلخل 1 میلی متری برای پردازش مرطوب نیمه هادی

کارتریج فیلتر تیتانیوم متخلخل 1 میلی متری برای پردازش مرطوب نیمه هادی، حفظ ذرات درجه بندی شده مطلق را در محیط های شیمیایی تهاجمی که در آن غشاهای پلیمری متورم یا تخریب می شوند، ارائه می دهد. این فیلتر متخلخل با پودر فلزی که از پودر تیتانیوم با خلوص بالای 99.4٪ یا بیشتر از 99.4٪ از طریق پرس ایزواستاتیک سرد و پخت خلاء با دمای بالا ساخته شده است، ساختار ریز متخلخل یکنواختی با تخلخل در محدوده 30-40٪ و توزیع اندازه منافذ باریک دارد. در فیلتر کربن زدایی تولید دارویی API، فیلتر میله‌ای تیتانیوم تف جوشی شده 1 میکرومتری، باقیمانده‌های کربن فعال و ریز کاتالیست‌ها را از مشروب‌های مادر با ویسکوزیته بالا جمع‌آوری می‌کند و قابلیت شستشوی معکوس قابل استفاده مجدد را چندین برابر بیشتر از جایگزین‌های غشایی افزایش می‌دهد. تولید نیمه هادی فرآیند مرطوب، فیلترهای سینتر شده با پودر تیتانیوم 1 میلی متری را در خطوط تحویل شیمیایی جریان های SC{19}}1، SC{20}}2، 49% HF و HNO3 ادغام می کند، جایی که بستر تیتانیوم در برابر ایجاد حفره در محیط بدون کلرید غنی از فولاد ضد زنگ مقاومت می کند. درجه دقت 1um ذرات زیر میکرونی حاوی سیلیکون و آلاینده های فلزی را بدون ریزش ذرات حذف می کند و خلوص فیلتر مورد نیاز برای پردازش ویفر در مقیاس نانو را حفظ می کند.

برنامه‌های کاربردی حلقه تصفیه آب با خلوص بالا، کارتریج فیلتر تیتانیوم متخلخل 1 میلی‌متری را برای پردازش مرطوب نیمه‌رسانا به‌عنوان فیلتر امنیتی نهایی قبل از سیستم‌های اولترافیلتراسیون و EDI به کار می‌برند، جایی که عنصر متخلخل پودر تیتانیوم در شرایط استریلیزاسیون دوره‌ای ازن و بخار-در شرایط{3}تا 20 درجه مرطوب مقاومت می‌کند. برخلاف فیلترهای عمقی پلی پروپیلن یا کارتریج های غشایی PTFE که تحت چرخه حرارتی نرم یا لایه لایه می شوند، ماتریس تیتانیوم خلاء{6}}در محدوده pH 1{11}}14 یکپارچگی ابعادی را حفظ می کند و فشارهای دیفرانسیل تا 5.0 بارپس ساختار بدون منافذ را تحمل می کند. حلقه‌های پولیش دوغاب CMP در فابریک‌های پیشرفته از کارتریج‌های فیلتر تیتانیوم 1 میکرومتری پس از{13} مراحل جذب رزین برای به دام انداختن ذرات ساینده آگلومره‌شده با اندازه بزرگ استفاده می‌کنند و در عین حال توزیع اندازه ذرات مهندسی شده دوغاب‌های کلوئیدی سیلیس یا سریا را حفظ می‌کنند. ویژگی-عدم ریختن ذرات و قابلیت بازسازی آنلاین از طریق شستشوی معکوس یا تمیز کردن اولتراسونیک، استفاده مجدد مکرر، کاهش فرکانس تعویض فیلتر و کاهش هزینه‌های عملیاتی را در عملیات مداوم نیمکت مرطوب نیمه هادی امکان پذیر می‌سازد.

درجه فیلتراسیون دقیق - کارتریج فیلتر تیتانیوم متخلخل 1 میلی متری، حفظ ذرات مطلق-را در خطوط پردازش مرطوب نیمه هادی، حذف بقایای سیلیکون زیر میکرونی، آلاینده های فلزی و ذرات ژل- از مواد شیمیایی تهاجمی از جمله محیط های شیمیایی تهاجمی از جمله HF، SC-2-2، حذف می کند.

مقاومت در برابر خوردگی در محدوده‌های pH شدید - این کارتریج فیلتر تیتانیوم متخلخل از پودر تیتانیوم با خلوص بیش‌تر یا مساوی 99.4 درصد از طریق تف جوشی در خلاء تولید می‌شود.

پایداری حرارتی بالا برای چرخه‌های داغ DIW و SIP - فیلتر تف جوشی شده با پودر تیتانیوم در شرایط مرطوب عملکرد مداوم را در 280 درجه تحمل می‌کند، از استریل کردن بخار-در محل (SIP) و شستشو با آب دیونیزه داغ بدون نرم‌کردن، لایه‌برداری یا شسته شدن غشاهای عصاره‌گیری پلیمری یا PTFE پشتیبانی می‌کند.

No particle shedding – Unlike depth filters or wound cartridges, the rigid sintered metal structure eliminates fiber release or media migration, maintaining ultrapure filtrate essential for nanometer-scale wafer fabrication where any foreign particle >0.5μm باعث نقص های کشنده دستگاه می شود.

قابلیت بازسازی عالی در شستشوی معکوس - کارتریج فیلتر تیتانیوم متخلخل 1 میلی متری از شستشوی معکوس آنلاین، تمیز کردن اولتراسونیک و بازسازی اسید پشتیبانی می کند، مواد جامد گرفته شده را حذف می کند و نرخ جریان اولیه را در ده ها چرخه استفاده مجدد بازیابی می کند، و به طور قابل توجهی فرکانس تعویض کارتریج و هزینه های عملیاتی را در {1}حجم بالا کاهش می دهد.

تحمل فشار دیفرانسیل بالا - ماتریس تیتانیوم{0}}خلاء زینتر شده یکپارچگی ساختار منفذی را تحت فشارهای دیفرانسیل تا 5.0 بار حفظ می‌کند و عملکرد بهتری از فیلترهای غشایی دارد که در طول جریان‌های موجی یا مسدود شدن در تجهیزات پردازش مرطوب نیمه‌رسانا فرو می‌ریزند یا پاره می‌شوند.

خطوط توزیع شیمیایی با خلوص بالا در فابریک‌های ویفر - نصب شده در محفظه‌های فیلتر استفاده شده (POU) برای جریان‌های 49% HF، HNO3، NH4OH، H2SO4 و HCl، فیلترهای تیتانیوم فرعی متخلخل 1 میلی‌متری قبل از جدا کردن ذرات فلزی فیلتر سیلیسی و تک-پردازنده های ویفر.

حلقه‌های چرخش آب بدون یون ازن دار (DIO3) – به عنوان فیلتر امنیتی در ابزارهای پاکسازی پست-CMP و مقاوم به نور استفاده می‌شود. کارتریج تیتانیوم متخلخل 1 میلی متری در برابر غلظت ازن تا 20 پی پی ام و قرار گرفتن در معرض مداوم اشعه ماوراء بنفش مقاومت می کند، جایی که فیلترهای پلی پروپیلن ترد می شوند و غشاهای PTFE یکپارچگی مکانیکی را از دست می دهند.

CMP slurry polishing loops – final polish and bulk removal – Positioned after slurry blending tanks and before dispense arms for colloidal silica, ceria, or alumina slurries. The sintered titanium filter traps over-sized agglomerates (>1um) با حفظ توزیع اندازه ذرات بومی و پتانسیل زتا، حفظ نرخ حذف ثابت و در یکنواختی-ویفر- (WIWNU).

پست{0}}فیلتراسیون آب اسکرابر جعبه برس CMP - نصب شده در خطوط آب دیونیزه شده که برس‌های PVA ​​را تغذیه می‌کنند تا ذرات ساینده باقیمانده و یون‌های مس را پس از پرداخت ویفر جمع‌آوری کنند. امتیاز مطلق 1um از ایجاد ریز خراش روی مس و سطوح دی الکتریک کم{3}} در هنگام تماس با قلم مو جلوگیری می کند.

فیلتر امنیتی نهایی حلقه پولیش آب فوق خالص (UPW) – جلوتر از دریچه‌های--استفاده (POU) در ایستگاه‌های اچ و شستشوی مرطوب قرار دارد. کارتریج فیلتر پودر تیتانیوم در چرخه های استریلیزاسیون UPW گرم (80 درجه) و بخار دوره ای بدون ریزش ذرات عمل می کند، کنترل باکتری ها و تعداد ذرات را کمتر از الزامات کلاس 1 حفظ می کند.

حمام های آبکاری نیکل و کبالت الکترولس برای لایه های مانع/بذر – برای حذف آلودگی ذرات از تثبیت کننده ها و عوامل کمپلکس کننده در اسکیدهای تصفیه حمام آبکاری ادغام شده است. ماتریس تیتانیوم مقاوم در برابر خوردگی در دماهای بالا (70-90 درجه) و pH قلیایی بدون شکنندگی هیدروژنی یا آلودگی حمام عمل می کند.

تلفن: 0917-3873009

تلفن: +86 18992731201

ایمیل:zhangjixia@bjygti.com

فکس: 0917-3873009

آدرس: شماره. 195، خیابان Gaoxin،-منطقه توسعه فناوری پیشرفته، شهر بائوجی، شانشی، چین

واتساپ: +86 18992731201

تگ های محبوب: کارتریج فیلتر تیتانیوم متخلخل 1um برای پردازش مرطوب نیمه هادی، چین، تامین کنندگان، تولید کنندگان، سفارشی، استفاده، لیست قیمت، برای فروش، در انبار، نمونه رایگان، مواد متخلخل