کارتریج های فیلتر پودر فولاد ضد زنگ با رابط های VCR 1/2 اینچی اجزای حیاتی در تولید نیمه هادی ها هستند که به طور خاص برای سیستم های توزیع گاز با خلوص بالا طراحی شده اند. این کارتریج های فیلتر از فناوری پیشرفته تف جوشی پودر فلز برای دستیابی به فیلتراسیون دقیق استفاده می کنند و به طور موثر ذرات ضروری را به کوچکی 5 میکرون می گیرند که فرآیندی فوق العاده به اندازه 5 میکرون است. حفظ یکپارچگی فرآیندهای حساس ساخت نیمه هادی رابط 1/2 اینچی VCR یک فلز ضد نشتی{11}}بر{12}}فلزات را فراهم می کند، که نیازهای سختگیرانه محیط های نیمه هادی را برآورده می کند که حتی ناخالصی های کوچک گاز می تواند منجر به نقص های قابل توجه در دستگاه های میکروالکترونیک شود. ساختار مستحکم آن‌ها از فولاد ضد زنگ{14}مقاوم در برابر خوردگی، دوام و قابلیت اطمینان طولانی‌مدت{15}} را در شرایط سخت تضمین می‌کند.

در کاربردهای نیمه هادی، این کارتریج های فیلتر نقش حیاتی در محافظت از تجهیزات پایین دستی مانند کنترل کننده های جریان جرم و شیرهای دقیق در برابر آلودگی ذرات ایفا می کنند. با ادغام یکپارچه در خطوط گاز{1} با خلوص بالا، آنها نصب و نگهداری را ساده می‌کنند و در عین حال زمان خرابی سیستم را به حداقل می‌رسانند. ترکیبی از راندمان فیلتراسیون بالا، مقاومت شیمیایی استثنایی و آب بندی قابل اعتماد آنها را برای اطمینان از خلوص گاز و کارایی عملیاتی در تاسیسات پیشرفته تولید نیمه هادی ضروری می کند.

مشخصات محصولات

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

مواد: پودر 316 لیتر
اندازه: φ40 * 196.3 میلی متر
دقت فیلتر: 5 میکرون
رابط: VCR1/2"
فنی: تف جوشی

ویژگی های محصولات

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces 3

1. خلوص فوق العاده بالا و حفظ ذرات
- ساختار فولاد ضد زنگ متخلخل (معمولاً 316L) یک محیط تصفیه تمیز و تمام فلزی بدون چسب، چسب یا پسماندهای آلی ارائه می‌کند.
- قابلیت حفظ ذرات زیر میکرون تا 0.5 میکرومتر، جلوگیری از رسیدن میکروآلودگی به محفظه‌های فرآیند یا ویفرها.
- بدون ریزش ذرات، تضمین تعداد ذرات پایدار در استفاده طولانی مدت.

2. پایداری مکانیکی و حرارتی قوی
- طراحی تمام فلزی در برابر فشار بالا، دمای بالا و چرخه های حرارتی مکرر مقاومت می کند.
- یکپارچگی مکانیکی را تحت شرایط ارتعاش، جریان معکوس یا پالس فشار- که در سیستم‌های توزیع گاز رایج است، حفظ می‌کند.
- سازگار با ردیابی حرارت برای خطوط گاز با دمای بالا.

3. قابل پاکسازی و بازسازی مجدد
- المان‌های فیلتر را می‌توان با شستشوی معکوس، تمیز کردن اولتراسونیک، یا پختن در خلاء انجام داد که در مقایسه با فیلترهای پلیمری یا سرامیکی، عمر طولانی‌تری را ممکن می‌سازد.
- چرخه عمر معمولی به 5 تا 10 برابر فیلترهای PTFE یا PVDF یکبار مصرف افزایش می‌یابد که زمان خرابی و هزینه کل مالکیت را به حداقل می‌رساند.

4. سازگاری شیمیایی و مقاومت در برابر خوردگی
- 316فولاد ضد زنگ L یک لایه اکسید غیرفعال را در محیط‌های کلرید، فلوئور، آمونیاک و گاز اسیدی حفظ می‌کند.
- سطح غیر واکنشی از استخراج یون فلزی یا تغییر ترکیب گاز جلوگیری می‌کند.

برنامه های کاربردی

1. خطوط توزیع گاز UHP
- در اسکیدهای تحویل گاز انبوه، کابینت‌های گاز و پانل‌های VMB/VMP نصب می‌شود و ذرات را قبل از ورود گاز به MFCها یا ابزارهای پردازش فیلتر می‌کند.
- در N2، Ar، H2، He، O2، NH3، CF4 و سایر خطوط گاز با خلوص بالا که فرآیندهای حیاتی را تغذیه می‌کنند، استفاده می‌شود.

2. حفاظت از ورودی کنترل کننده جریان جرمی (MFC).
- از آلودگی ذرات و سایش دریچه در کنترل‌کننده‌های دقیق جریان جرم جلوگیری می‌کند.
- پایداری جریان درازمدت و ثبات کالیبراسیون MFCها را بهبود می‌بخشد.

3. محفظه فرآیند و ورودی گاز ابزار
- تحویل بدون ذرات، بدون رطوبت به کوره‌های CVD، ALD، اچ و انتشار را تضمین می‌کند.
- در خطوط SiH4، WF6، BCl3، PH3، و TEOS استفاده می‌شود که در آن خلوص برای کیفیت فیلم و بازده بسیار مهم است.

4. گاز تخصصی و سیستم های پیش ساز
- برای گازهای آلی فلزی یا بر پایه هالوژن که بی اثری شیمیایی و پایداری دما بسیار مهم است.
- اغلب بعد از بخارسازها یا حباب‌ها برای جذب ذرات یا قطرات متراکم قرار می‌گیرند.

با ما تماس بگیرید

تلفن: 0917-3873009

تلفن: +86 18992731201

ایمیل:zhangjixia@bjygti.com

فکس: 0917-3873009

آدرس: شماره. 195، خیابان Gaoxin،-منطقه توسعه فناوری پیشرفته، شهر بائوجی، شانشی، چین

واتساپ: +86 18992731201

تگ های محبوب: کارتریج فیلتر پودر فولاد ضد زنگ 5 میکرون با رابط های vcr 1/2 اینچی، چین، تامین کنندگان، تولید کنندگان، سفارشی، استفاده، لیست قیمت، برای فروش، در انبار، نمونه رایگان، مواد متخلخل

محصولات

کارتریج فیلتر پودر فولاد ضد زنگ 5 میکرونی با رابط های VCR 1/2 اینچی

مشخصات محصولات

ویژگی های محصولات

برنامه های کاربردی

با ما تماس بگیرید