در حوزه فناوریهای رسوبگذاری لایه نازک، اهداف کندوپاش تیتانیوم نقشی محوری در صنایع مختلف ایفا میکنند، که هر کدام مشخصات عملکرد دقیقی را برای برآوردن نیازهای منحصر به فرد خود میطلبد.
معیارهای عملکرد اساسی برای اهداف کندوپاش تیتانیوم
- خلوص: خلوص به عنوان یک معیار عملکرد مهم برای اهداف کندوپاش میباشد که به طور قابل توجهی بر ویژگیهای لایه نازک تأثیر میگذارد. تقاضاهای خاص صنعت برای خلوص متفاوت است. به عنوان مثال، در صنعت نیمه هادی، آستانه خلوص با کوچک شدن ابعاد ویفر سیلیکونی و عرض سیم افزایش یافته است. قبلاً، سطح خلوص 99.995% برای فرآیندهای IC 0.35μm کافی بود، در حالی که ساخت خطوط 0.18μm اکنون به سطوح خلوص 99.999% یا حتی 99.9999% نیاز دارد.
- محتوای ناخالصی: ناخالصی های موجود در مواد هدف و گازهای به دام افتاده در منافذ به عنوان منابع آلودگی اولیه در طول رسوب فیلم عمل می کنند. در نتیجه، کاربردهای متنوع سطوح خلوص متمایزی را الزامی می کند. به عنوان مثال، در بخش نیمه هادی، اهداف آلومینیوم خالص و آلیاژ آلومینیوم الزامات خاصی را بر محتوای فلز قلیایی و عناصر رادیواکتیو تحمیل می کنند.
- چگالی: چگالی هدف بالا برای کاهش حضور منافذ در هدف جامد، بهبود عملکرد فیلم پراکنده شده است. چگالی هدف نه تنها بر نرخ کندوپاش تأثیر می گذارد، بلکه بر خواص الکتریکی و نوری فیلم ها نیز تأثیر می گذارد. چگالی و استحکام بالا اهداف را در برابر تنش های حرارتی در طول فرآیند کندوپاش تقویت می کند و چگالی را به یک شاخص عملکرد حیاتی تبدیل می کند.
- اندازه دانه و پراکنش: اهداف کندوپاش معمولاً ساختارهای چندبلوری با اندازه دانه از میکرومتر تا میلی متر را نشان می دهند. اهداف با دانه های ریزتر معمولاً نرخ کندوپاش بالاتری را در مقایسه با همتایان دانه درشت نشان می دهند. اهداف با حداقل نابرابری در اندازه دانه (توزیع یکنواخت) فیلم هایی با توزیع ضخامت یکنواخت تر تولید می کنند.
الزامات خلوص صنعت متنوع برای اهداف کندوپاش تیتانیوم
- مدارهای مجتمع: اهداف کندوپاش تیتانیوم مورد استفاده در مدارهای مجتمع سطوح خلوص فوقالعاده بالای بیش از 99.995% را برای اطمینان از عملکرد و پایداری فیلم الزامی میکنند.
- نمایشگرهای صفحه تخت: فناوریهای مختلف صفحهنمایش صفحه تخت، مانند LCD، نمایشگرهای پلاسما، OLED و نمایشگرهای انتشار میدانی، از تکنیکهای رسوب کندوپاش استفاده میکنند که در آن اهداف تیتانیوم، مواد کندوپاش مهم، معمولاً به خلوص بیش از 99.9 درصد نیاز دارند.
اهداف کندوپاش تیتانیوم کاربردهای گسترده ای در الکترونیک، فناوری اطلاعات، دکوراسیون منزل، تولید شیشه خودرو و سایر بخش های با فناوری پیشرفته پیدا می کنند. در این صنایع، هدف های تیتانیوم برای پوشش مدارهای مجتمع، اجزای صفحه تخت، کاربردهای تزئینی، پوشش های شیشه ای و غیره استفاده می شود.
